Vaka geçmişi: Talaş üretiminde "Bin-delik sorunu"

Yarı iletken çip işleme alanında kuvars cam, yüksek saflığı, yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal stabilitesi nedeniyle dağlama işleminde püskürtme disklerinin üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Önde gelen bir çip ekipmanı üreticisinin kuvars püskürtme diskleri için işleme gereksinimleri oldukça temsili niteliktedir:
Malzeme: Kuvars camı (sertlik HV700)
Temel özellikler: 0,5 mm çap, 5 mm derinlikte mikro-delikler (derinlik-çap-oranı 10:1), 280 mm çapında bir disk üzerinde 4.996 deliğin eşit şekilde işlenmesi gerekir
Hassasiyet gereksinimleri: Delik yuvarlaklığı ±5μm'den küçük veya eşit, konum hatası<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Üretici başlangıçta geleneksel delme teknolojisini kullanıyordu ancak iki ölümcül sorunla karşı karşıyaydı:
Verimlilik darboğazı: Tek delikli işleme 270 saniye sürer ve tek diskli işleme 34 gün boyunca sürekli çalışmayı gerektirir;
Kontrolden çıktı: Delik kenarı çökmesi 0,4 mm'ye ulaşır, bu da iş parçalarının %30'undan fazlasının gerilim yoğunlaşması nedeniyle çatlamasına ve hurdaya çıkmasına neden olur.
BISHEN Çözümleri: Ultrasonik teknoloji geleneksel el sanatlarını alt üst ediyor
Kuvars camın kırılgan ve sert özelliklerini göz önünde bulundurarak BISHEN Ar-Ge ekibi, üç teknik yeniliğe imza atan "ultrasonik hassas gravür ve frezeleme sistemini" önerdi:
① Yüksek-frekanslı ultrasonik titreşim azaltma teknolojisi
20kHz ultrasonik titreşim, matkap ucu ile malzeme arasındaki temas süresini mikrosaniyelere kadar kısaltır, kesme kuvvetini %65 azaltır ve kenarın kökten çökmesini bastırır.
② Entegre PCD matkap özelleştirmesi
Matkap ucu, ±2μm kesme kenarı ark doğruluğuna ve 5 mm derinliğindeki deliklerin düzlüğünü sağlamak için 0,01 derecelik eksenel düzeltme sistemine sahip, tek parça halinde elmas kompozit levhadan (PCD) yapılmıştır.
③ Vakumlu adsorpsiyon konumlandırma aleti
Birden fazla alanın bağımsız kontrolüne sahip havada yüzen platform, 280 mm'lik kuvars diskin düzlük hatasını 0,005 mm içinde dengeleyerek delme konumundaki sapmayı ortadan kaldırır.
İşleme verileri karşılaştırması: verimlilik ve doğrulukta çifte sıçrama

Çözüm, art arda üç ay boyunca seri üretimde müşteriler tarafından doğrulandı ve püskürtme plakasının verimi %67'den %98'e yükseldi ve üreticilere her yıl kuvars malzeme kaybı maliyetlerinde 8 milyon yuan'dan fazla tasarruf sağladı.

Endüstri İlhamı: Hassas İşlemenin Teknik Dönüm Noktası
Kuvars cam mikro-delik işleme, bir zamanlar çip ekipmanının yükseltilmesini kısıtlayan bir "darboğaz" bağlantısıydı. BISHEN, ultrasonik teknolojinin mühendislik uygulamaları yoluyla yalnızca 10:1 derinlik-çap oranıyla mikro-delik işleme sorununu çözmekle kalmadı, aynı zamanda kırılgan ve sert malzemelerin hassas işlenmesi için yeni bir paradigmayı da doğruladı - Takım sertliğindeki basit artışı, ultra-hassas işleme için evrensel değere sahip yüksek-frekanslı titreşim kontrolü ile değiştirdik seramik ve optik cam gibi endüstriler.
Bishen Hassasiyeti Hakkında
BişenPrecision, yüksek-hassasiyetteki metal parça üretimine odaklanır. 7.500 metrekarelik modern üretim üssüne dayanan şirket,-havacılık, tıbbi makineler ve robotik alanlarındaki karmaşık yapısal parçalar için tek elden çözümler sunuyor. Şirket, temel rekabet gücü olarak "aşırı hassasiyet ve güvenilir teslimat"ı benimser ve malzeme modifikasyonu, çok-eksenli bağlantı işlemeden mikron-düzey testlerine kadar tam-süreç hizmetleri sağlama yeteneğine sahiptir. ISO 13485 tıbbi cihaz kalite yönetim sistemi, AS9100 havacılık sertifikası ve diğer niteliklere sahiptir ve toplamda 200.000'den fazla anahtar parça teslim ederek müşterilerin hassas üretimin sınırlarını aşmasına yardımcı olur.







