Yarı iletken ekipman imalatı dünyasında,yüzey kalitesi yalnızca estetikle ilgili değildir{0}}işlev, uzun ömür ve hassasiyetle de ilgilidir. Plaka aynaları, lens yuvaları ve hassas kılavuzlar gibi bileşenler yalnızca boyutsal toleransları değil aynı zamandaaşırı yüzey kalitesi gereksinimleri, genellikle aşağıdaRa 0,1 mikron.
Nanometre-Seviyesindeki Yüzey Cilası Neden Önemlidir?
Yüksek-performanslı yarı iletken ekipmanlar büyük ölçüde temas doğruluğuna ve temiz oda uyumluluğuna dayanır. Nanometre eşiklerini aşan bir yüzey pürüzlülüğü şunları yapabilir:
Müdahale etmekgofret yerleştirme doğruluğu
Arttırmaksürtünme ve aşınmahareket sırasında
Nedenoptik sinyal dağılımıfotolitografiyi etkileyen
Yaratmakparçacık tuzaklarıkontaminasyon risklerinin artması
Örneğin, birgofret sahne destek halkasıyüzey pürüzlülüğünün spesifikasyonun üzerinde olması mikro-titreşimlere neden olabilir, konumlandırma doğruluğunu azaltabilir ve verimi düşürebilir.
CNC İşleme Mücadelesi
Ra'nın 0,1 μm'ye eşit veya daha az yüzey kalitesine ulaşmak, standart CNC işlemlerinin çok ötesine geçer. Geleneksel aletler ve parametreler genellikle yarı iletken ortamlarda kabul edilemez olan mikro-çiziklerin, işleme izlerinin veya artık gerilimlerin-ardında kalır.
Nanometre-Seviyesinde Kaliteye Yaklaşımımız
Şu tarihte:BISHEN Hassasiyeti, özellikle yüzey-hassas uygulamaları için işleme iş akışları geliştirdik:
Kullanımıultra-ince taneli karbür takımlarözel geometrilerle
Parlatma pasolarıson takım yollarına entegre edildi
Soğutma sıvısı kontrol sistemleriısının-kaynakladığı mikro-yırtılmaları önlemek için
ile koordinasyonCMM'ler ve beyaz-ışık girişimölçerleripürüzlülüğü doğrulamak için
Her parça yalnızca boyutsal toleranslar açısından değil, aynı zamanda-mikron altı yüzey tutarlılığıtüm temas düzlemlerinde.
Gerçek Durum: Ayna-Bitmiş Gofret Destek Plakaları
Bir müşteri, yüzey kalitesi daha iyi olan alüminyum levha plakalara ihtiyaç duyuyordu.Ra 0,05 mikron, tüm fikstür boyunca aynı. Optimize edilmiş yüksek-hızlı son işlem tekniklerini ve özel cilalama stratejilerini kullanarak, EUV-düzeyinde temiz oda montajına hazır, teknik özelliklerin ötesinde bileşenler sunduk.
Yüzey Kaplamanın Sisteminizi Zayıflatmasına İzin Vermeyin
Nano ölçekteki yüzey kusurları, en hassas mekanizmalarınızdan sessizce ödün verebilir. Başvurunuz gerektiriyorsaoptik-kaliteli kaplamalar, veyaüstün sürtünme performansı, bizimle konuş. Parçalarınızın her ikisini de karşıladığından emin olmanıza yardımcı olacağıztoleransVedoku.
