Örnek olay: Kuvars cam substrat işlemede atılım
İşleme nesnesi: fotolitografi için kuvars cam alt tabaka
Özellikler:
Malzeme: %99,99 yüksek-saflıkta kuvars cam
İşleme özellikleri: çift-taraflı C0.2 pah + dikey yan duvar
Yüzey gereksinimleri: Ra < 150nm (ayna sınıfı)
Boyutlar: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Endüstri işlemenin sorunlu noktalarının analizi
Yarı iletken üretim ekipmanının temel sarf malzemeleri olarak, fotolitografiye yönelik kuvars parçaların aynı anda üç katı standardı karşılaması gerekir: malzeme geçirgenliği > %99,6, boyut toleransı ±10μm ve yan duvar pürüzlülüğü Ra < 150nm. Geleneksel işleme yöntemi, iki büyük endüstri sorununa sahip olan taşlama taşı taşlama işlemini kullanır:
Verimlilik darboğazı: tek-parçanın işlenmesi 120 dakikaya kadar sürer
Yüzey kusurları: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Takım kaybı: Sıradan takım ömrü 50 parçadan azdır
BISHENçözümler teknoloji yenilik
Kuvars malzemelerin sert ve kırılgan özellikleri göz önüne alındığında kompozitişleme çözümübenimsenmiştir:
• 20kHz ultrasonik hassas gravür ve freze sistemi
• Entegre PCD mikro-bıçaklı frezeleme takımı (kenar R0,05 mm)
• Eksenel katmanlı kesme işlemi (katman başına 2μm)
Ölçülen işleme avantajlarının karşılaştırılması
Süreç doğrulama ve karşılaştırma yoluyla temel göstergeler önemli ölçüde iyileştirildi:
Endüstri Uygulama Değeri
Bu çözüm, litografi makine parçalarının lokalizasyon sürecindeki "darboğaz" işleme problemini başarıyla çözerek kuvars substrat üretim kapasitesini günde 10 parçadan 50 parçaya ve işleme yeterlilik oranını %63'ten %98,5'e çıkardı. Zeiss lazer interferometrenin tespitine göre işleme yüzeyi doğruluğu PV değeri:<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
HakkındaBISHEN
Bishen Hassasiyeti7.500 metrekarelik standart atölyelerle hassas donanım parçaları işleme konusunda uzmanlaşmıştır ve hizmetleri havacılık, tıbbi ekipman, endüstriyel robotlar ve diğer alanları kapsamaktadır. Karmaşık yapısal parçaları işleme yeteneği ve ISO sistem sertifikasyonu sayesinde müşterilere tasarım ve geliştirmeden seri üretime kadar-tam süreç çözümleri sunar.
