Üçüncü-nesil yarı iletken üretimi alanında, silikon karbür plaka tepsileri ve aynalar, korozyona dayanıklılıkları ve yüksek termal iletkenlikleri nedeniyle vazgeçilmez temel bileşenler haline geldi. Ancak bunların işlenmesi sırasında maruz kalınan sektör sorunları, hassas üretim şirketlerini uzun süredir rahatsız ediyor.
Tipik İşleme Durumu
Belirli bir firma tarafından üstlenilen silisyum karbür levha tepsi aynası işleme projesi, D380x5mm iş parçalarının boşluk ve oluk yapısının taşlanmasının tamamlanmasını gerektirmektedir. Bu malzemenin sertliği doğal elmasın sertliğinin 1/3'üne yakın olan HV2,002'ye ulaşır. İşleme sırasında sık sık karşılaşılan kenar çökme sorunları, %60'ın altında bir geçiş oranıyla sonuçlandı ve geleneksel takımlar 159 dakikada hurdaya çıkarıldı ve tek bir parçanın işlenmesi 888 dakikaya kadar sürdü.
Endüstriyel işlemede sıkıntılı noktalar
SiC malzemeleri, yüksek sertlikleri ve kırılganlıkları nedeniyle geleneksel işlemede üç büyük zorlukla karşı karşıyadır:
İş parçası kenarlarındaki talaşlanma oranı %35'in üzerindedir
Takım aşınma oranı geleneksel malzemelere göre 3-5 kat daha yüksektir
±0,5μm yüzey pürüzlülüğü kontrol doğruluğunun istikrarlı bir şekilde sürdürülmesi zordur
BISHENçözüm inovasyon uygulaması
Silisyum karbür işlemenin özel ihtiyaçlarına yanıt olarak BISHEN teknik ekibi, üç-aşamalı bir süreç yeniliği uyguladı:
• 20kHz ultrasonik titreşim destekli işleme sisteminin tanıtılması
• Entegre bir PCD mikro-bıçaklı frezeleme takımının özelleştirilmesi (kenar R açısı 0,02 mm)
• Kesim parametreleri için uyarlanabilir bir dinamik ayar algoritması geliştirme
Süreç yükseltme sonuçları
Ekipman dönüşümünden sonraki üretim verileri şunları gösterir:
1. Parçalanma oranı %8'in altına düştü
2.Tek bir parçanın işlem süresi 462 dakikaya optimize edildi
3.Takım ömrü 317 dakikayı aştı
4. Yüzey pürüzlülüğü Ra0.4μm'de stabil olarak kontrol edilir
