İşleme nesnesinin analizi
Malzeme: optik dereceli kuvars cam
İşleme özellikleri: çoklu-yüzey kontur taşlama (3 asimetrik yüzey dahil)
Temel boyutlar: 16×16×10mm (hata ±0,002mm)
Yalnızca tırnak büyüklüğündeki bu kuvars prizma, ev tipi ileri teknolojiye sahip bir litografi makinesinin optik sisteminin temel ışık-kılavuz öğesidir. 8 karmaşık kavisli yüzeyinin %99,6 geçirgenliğe ve nanometre-düzeyinde kırılma doğruluğuna ulaşması gerekir ve yüzey pürüzlülüğü, litografi makinesinin pozlama çözünürlüğünü doğrudan etkiler.
Sektörün sorunlu noktaları ve teknik zorluklar
Bir optik teknoloji şirketi, litografi makinelerinin yerelleştirilmesini teşvik ederken kuvars prizma işlemede bir darboğazla karşılaştı:
Geleneksel taşlama kusurları: Manuel cilalama sonrasındaki pürüzlülük hala Sa 120nm'ye ulaşır, bu da %15 ışık saçılımı kaybına neden olur
"Ekipman ithalatına bağımlılık": Tek bir Japon ultra-hassas taşlama makinesinin maliyeti 20 milyon yuan'ı aşıyor ve teslimat süresi 18 ay kadar uzun
"Verim krizi": 500 deneme üretiminin ilk partisinden yalnızca 32'si standartları karşıladı ve bu da projenin ilerlemesini ciddi şekilde yavaşlattı
"İthal ekipmanın karşılanamaması ve yerel süreçlerin iyi olmaması" ikilemi, bağımsız litografi makinesi geliştirme sürecini doğrudan engelledi.
BISHENçözümlerin çözümü
BISHEN teknik ekibi, optik bileşenlerin aşırı hassasiyet gereksinimlerine yanıt olarak yenilikçi araştırma ve geliştirme geliştirmiştir:
1. Ultrasonik dikey beş-eksenli bağlantı işleme sistemi
2. 0.1μm-seviye dinamik kompanzasyon, 18 eksen bağlantılı takım tezgahlarının hassas kontrolü
3. Eşleşen asimetrik yüzey CAD/CAM akıllı programlama
4. Yüksek-frekanslı ultrasonik destekli taşlama teknolojisi
5. 40kHz ultrasonik titreşim, kesme gerilimini %52 azaltır ve kuvars mikro çatlaklarını önler
6. Elmas mikro-toz taşlama taşının ömrü 3 kat uzar
Gerçek ölçülen performans sıçraması
Belirli bir tür yerli litografi makinesi prizmasının seri üretiminde üç büyük atılım sağlandı:
1.Yüzey kalitesi: Pürüzlülük Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.İşleme verimliliği: Tek-parça çalışma saatleri 14 saatten 3,5 saate indirildi
3.Maliyet kontrolü: Ekipman yatırımı ithal çözümün yalnızca 1/5'idir
3.000 üründen oluşan ilk partinin verim oranı %98,7'ye yükseldi ve müşterilerin prototiplerin montajını planlanandan 6 ay önce tamamlamasına yardımcı oldu
hakkındaBISHEN
BISHENPrecision Technology (2017'de kuruldu), üst düzey üretim alanındaki "darboğaz" teknolojisini kırmaya odaklanıyor-. Dongguan'da, beş-eksenli bağlantı işleme merkezleri ve ultra-hassas optik taşlayıcılar gibi ithal ekipman kümeleriyle donatılmış 7.500 metrekarelik bir dijital fabrika inşa etti. Yarı iletken ekipmanlara, optoelektronik aletlere ve diğer alanlara ultrasonik işleme ve kriyojenik kesme gibi yenilikçi teknolojiler uygulayarak, 20'den fazla yerli litografi makine endüstrisi zincir şirketine önemli parça işleme çözümleri sunmuş ve 500.000'den fazla hassas optik bileşen teslim etmiştir.
