Yarı iletken endüstrisinde,mikron-düzey hassasiyetibir lüks değil-bir temeldir. Kullanılan bileşenlergofret taşıma sistemleri, gravür odaları, Vefotolitografi araçlarıgerekmekboyut toleranslarıgenellikle 5 mikronun altındadır. Geleneksel CNC işleme yöntemleri, özel proses kontrolü ve metroloji olmadan bu tür talepleri karşılamaya çalışır.
Zorluk: Mikronlar Önemli Olduğunda
Geleneksel endüstriyel parçalardan farklı olarak yarı iletken bileşenler:
Sürdürmekaşırı düzlük ve paralellik
Sahip olmakhassas delik hizalaması ve eğimi
Emin olmakminimum yüzey kusurlarıvakum veya optik performansı etkileyebilecek
En ufak bir sapma bile aşağıdakilere yol açabilir:
Gofret aktarımı sırasında yanlış hizalama
Fotomask projeksiyonunda doğruluk kaybı
Kirlenme veya geometrik kayma nedeniyle verim kaybı
Gerçek-Dünyadan Örnek: Litografi Alet Çerçeveleri
içeren bir projedehafif alüminyum alaşımlı çerçevebir fotolitografi sistemi için,5 μm'nin altında toleranssağlamak için montaj yüzeylerinde gerekliydimükemmel kaplama hizalamasıçip desenleri.
Bunu başarmak için şunları uyguladık:
Termal dengelemeli 5 eksenli CNC işleme
Düşük-titreşim, yüksek-hızlı iş mili kontrolü
Gerçek-zamanlı boyutsal inceleme ve geri bildirim döngüleri
Böyle bir hassasiyet olmadan, yalnızca 10 μm'lik bir kayma, maske hizalamasını bozabilir ve talaş verimini azaltabilir-ve bu da müşteriye ciddi bir kesinti ve malzeme kaybına neden olabilir.
SürecimizBISHEN Hassasiyeti
Yarı iletken OEM'lere aşağıdakilerle hizmet veriyoruz:
Ultra-hassas CNC frezeleme ve tornalama (±2~5μm tekrarlanabilirlik)
Ra 0,2μm yüzey bitirmeden az veya ona eşitkritik sızdırmazlık veya optik bölgeler için
Temiz oda-uyumlu paketleme
İzlenebilir raporlarla CMM ve lazer tarama denetimi
Ekibimiz anlıyorher mikronun kritikliği-ve bunu hem Ar-Ge hem de yüksek-düşük hacimli karışım-üretim ortamlarına hizmet etme deneyimiyle destekliyoruz.
Neden Önemlidir?
Yarı iletken üretiminde geometri her şeydir. Herhangi bir bozulma, yanlış hizalama veya çapak aşağıdakilere neden olabilir:
Desen bozulması
Gofret işleme hataları
Vakum sistemi arızası
Hassas işleme yalnızca dar toleranslarla ilgili değildir-bu,işlevsellik ve güvenilirlikyeni-nesil çip üretim ekipmanı.
