Yarı iletken ekipman üretimi alanında, polisilikon kapı halkaları çip üretim sürecindeki temel bileşenlerdir. Çekirdek bileşenlerin lokalizasyonunu teşvik ederken, bir yurtiçi yarı iletken ekipman üreticisi zor bir işleme problemiyle karşılaştı - 290 mm çapında ve 45 mm kalınlığında polisilikon halkalarında yüksek hassasiyetli iç kontur taşlama ve oluk işlemeyi tamamlamak gerekiyordu ve geleneksel işlemlerin kitlesel üretim ihtiyaçlarını karşılaması zordu.
PROCTROCESS PROGRAM VE SANAYİ AĞRI NOKTALARI
A. Arka planın işlenmesi
Mükemmel yarı iletken özellikleri nedeniyle polisilikon, iyon implanters ve gravürler gibi ekipmanın kapı yapısal kısımlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu tür bileşenlerin, çoklu öğütme işlemleri yoluyla malzemenin% 7 0}}} 'e, iç kontur yuvarlamasının 0' den daha az veya daha az olmasını sağlar.
B. Geleneksel işleme ikilemi
1. Geleneksel öğütme makineleri düşük işlem verimliliğine sahiptir ve tek bir parça 8 saatten fazla sürer
2. Yuva işleme sırasında yontma oranı%35'e kadar yüksektir ve toplu hurdaya çıkarma ile sonuçlanır
3. İç daire yuvarlaklık sapması> 0. 015mm'dir.
Bishen çözümleri: Ultrasonik Teknoloji + Yüksek Hızlı Pikap İşbirliği Operasyonu
Polysilikon sert ve kırılgan malzemelerin işleme özellikleri göz önüne alındığında, Bishen Teknik Ekibi üçüncü sırada bir çözüm özelleştirdi:
1. Ultrasonik hassas gravür ve öğütme sistemi: 20kHz yüksek frekanslı titreşim kesme direncini% 50 azaltır
2. DDR Dikey Yüksek Hızlı Turntable: 3000rpm ± 1 ″ hassasiyet, nano seviyesi yörünge kontrolü
3. Gradyan kompozit araç çözümü:
Pırlanta kaplı araçlar, kaba işleme sırasında hızlı malzeme çıkarma için kullanılır
Ultrasonik PCD araçları ince işleme için değiştirilir
Ölçülen veriler endüstri kıyaslamasını yeniler
Müşteri üretim hattı doğrulamasında Bishen çözümü elde edildi:
İşleme verimliliği 2,8 kat arttı ve tek bir parçanın işlem süresi 2.8 saate sıkıştırıldı
Yuvanın yontma oranı % 35'ten 0 'a düşürüldü. % 5 veya daha az
İç daire yuvarlaklığı 0 'da dengelenir. 003-0. 005mm.
Yüzey pürüzlülüğü RA 0.
Bu atılım, müşterilerin polislikon kapı halkalarının seri üretim yeterlilik oranını% 61'den% 98,7'ye çıkararak ithal parçaların başarıyla değiştirilmiştir.
hakkındaBishen
Bishenyarı iletken, fotovoltaik ve diğer endüstrilerdeki "boyun-stok" işleme problemlerini çözmeye odaklanarak on yıldan fazla bir süredir hassas imalat alanında derinden dahil olmuştur. Şirketin 7.500 metrekarelik akıllı fabrikası, ultrasonik destekli işleme ve beş eksenli bağlantı gibi çekirdek teknoloji modülleri ile donatılmıştır. 20'den fazla yerli yarı iletken ekipman üreticisi için önemli parça işleme çözümleri sağlamıştır. İlgili teknolojiler ISO9001 ve Semiconductor Equipment Özel Sertifikasını geçti ve üst düzey üretim ekipmanı bağımsızlığı sürecine yardımcı olmaya devam etti.
